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同步辐射闪耀光栅相关论文
光刻胶灰化技术用于同步辐射闪耀光栅制作
在分析光刻胶光栅浮雕图形缺陷成因的基础上,首次将光刻胶灰化工艺引入到全息-离子束刻蚀制作闪耀光栅工艺中,并成功地为国家同步辐射......
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