含氢碳膜相关论文
利用磁控溅射在CH4与Ar气氛下制备了一种含氢碳膜,通过高分辨透射电镜、Raman光谱、纳米压入仪以及摩擦试验机对薄膜结构及其摩擦......
通过分子动力学模拟研究了含氢碳膜的生长机制、结构及其力学特性和热稳定性。主要结论包括：
1．用C、H原子沉积含氢碳膜时，在低......
目前,含有类富勒烯碳结构的氢化碳薄膜（FL-C：H）主要通过等离子体增强化学气相沉积技术（PECVD）在单晶硅表面制备。文中在碳薄膜PECVD沉积......
类富勒烯碳薄膜是一种由弯曲石墨烯镶嵌的非晶网络复合结构,正是由于这种弯曲石墨烯结构(类富勒烯结构)的存在,赋予了薄膜高的硬度......
目的研究类富勒烯结构含氢碳膜的摩擦学性能及润滑机理。方法采用闭合场非平衡反应磁控溅射技术,通过调节靶电流制备出类富勒烯结......
本文用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积含氢碳膜。利用激光拉曼光谱(Raman)检测薄膜的微观......
用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜......
