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含氢DLC膜相关论文
射频等离子体基离子注入DLC-TiN<,x>膜结构及摩擦学行为
本文以C2H2+H2和C2H2+Ar为气源,用射频激发等离子体基离子注入技术,在30CrMnSi钢基体上成功地制备出含氢DLC膜,系统地研究了DLC膜......
学位
含氢DLC膜
DLC多层膜
等离子体基
摩擦学行为
离子注入
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