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ZrCoRE薄膜的结构调控与吸气性能研究
运用扫描电镜、扫描原子探针、X射线衍射仪和动态法分析了高硼硅玻璃表面改性对ZrCoRE薄膜结构和吸气性能的影响。结果表明,ZrCoRE......
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ZrCoRE
吸气薄膜
射频磁控溅射
结构调控
吸气性能
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