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硅基超薄PIN高能粒子探测器工艺研究
随着核物理实验和空间辐射环境探测应用的快速发展,硅PIN探测器己成为国内外研究热点,其中超薄硅PIN探测器尤其具有应用和研究价值......
学位
硅基超薄PIN探测器
TMAH
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