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氮气分压对氮化铌薄膜特性的影响
采用反应直流磁控溅射法在单晶硅(100)衬底上沉积纳米厚度的超薄NbN薄膜.通过X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),四探针电阻测......
会议
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