利用压电陶瓷的特性，采用ＩＣ兼容的技术，设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺。在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基底上以ｓｏｌ－ｇｅｌ技术铺设了高质量的压电陶瓷薄膜。基于压......