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回旋等离子体相关论文
SiC表面ECR氢等离子体处理研究
SiC是第三代半导体材料,由于其禁带宽度大、热传导率高、热稳定性好,在高温、高频、大功率电子器件领域将会得到广泛的应用。但是SiC......
学位
碳化硅
氢等离子体
回旋等离子体
RHEED
XPS
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