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团簇沉积C-N薄膜的研究
利用荷能团族沉积装置在高阻硅(111)衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。......
期刊
团族沉积
碳氮薄膜
结构
制备
表征
硅基底
硬度
光谱
Cluster deposition
C-N film
Structure
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