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在线紫外辐照相关论文
在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究
显示技术正朝着柔性化、超薄化方向发展,低温制备柔性ITO薄膜已经成为一大趋势。本文在射频磁控溅射过程中,引入在线紫外辐照,室温条......
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