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垂直扫描位移台相关论文
光栅计量型的垂直扫描位移工作台及其误差分析
为满足精密测量中垂直扫描白光干涉以及千分表、电感位移传感器、表面粗糙度触针位移传感器标定对垂直方向的高精度定位和高分辨率......
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垂直扫描位移台
光栅计量型
压电陶瓷
衍射光栅
白光干涉
测量误差
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