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设计并制作出了一种基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器。MEMS静电驱动器采用垂直梳齿驱动技术,驱动硅微反射镜沿其法线方向......
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设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下......
