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采用射频溅射法于室温在玻璃基底上制备了铝掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了基底旋转速度(ωS)对薄膜形态、结构、光学和电学性质的影响.......
采用射频溅射法于室温在玻璃基底上制备了铝掺杂ZnO(AZO)薄膜，研究了基底旋转速度(ωS)对薄膜形态、结构、光学和电学性质的影响。......
