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介绍了电容式微加工超声传感器（cMUT）的基本结构和工作原理．同时使用有限元方法对cMUT的运行情况进行模拟．提出了两个ANSYS模型来阐述c......
介绍了电容式微加工超声传感器（cMUT）的工作原理,通过理论计算和有限元仿真分析,讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空......
电容式微加工超声传感器(cMUT)是近年来出现的新型器件,具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点,大有取代传统的压电式超声传......
建立电容式微机械超声传感器（CMUT）微元三维有限元模型,经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响,得到CMUT结构参数。设定工作频率......
电容式微机械超声阵列(CMUT)是微机电系统(MEMS)气体传感器的常用结构之一。为了在尽可能降低功耗的前提下,提高气体传感器的灵敏......
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