增强吸杂外延相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

增强吸杂外延相关论文

硅外延层中的杂质

主掺杂质、固态外扩散杂质、气相自掺杂质、系统自掺杂质和金属杂质等五类杂质源是外延层中的常见杂质。主掺杂质决定外延层的电阻......

期刊

外扩散自掺杂滞留层 S坑缺陷增强吸杂外延

硅外延片中的杂质控制

有5类掺杂源影响硅的外延片中的杂质分布。主掺杂质控制外延层的杂质浓度,决定外延层的电阻率。固态外扩散、气相自掺杂和系统自掺......

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