增黏剂(HMDS) 相关硕士博士期刊学术论文

介绍了增黏剂（HMDS）的物化性质及其在光刻工艺中的作用，并且通过实验研究将增黏剂应用于锑化铟材料的光刻工艺，改善了锑化铟的表面状态......