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光学移相干涉仪智能抗振平台关键技术研究
光学移相干涉术(PSI)是一种高精度、高灵敏度、非接触式光学测试方法,易受外界环境振动的影响,外界环境振动是移相干涉仪测量误差......
学位
光学移相干涉仪
外界环境振动
主动抗振控制
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小波分析
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