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多层两端固支梁相关论文
静电作用下多层两端固支梁pull-in电压的解析模型
受静电力作用的多层两端固支梁MEMS器件具有广泛的应用,其pull-in电压V对器件性能通常有重要的影响,本文运用能量法分析了多层两端......
会议
静电作用
多层两端固支梁
电压
解析表达式
能量法分析
器件性能
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