多层微悬臂梁相关论文
针对多层微悬臂梁中沉积层厚度对整体结构固有频率的影响，运用多层微悬臂梁的弯曲振动方程，并结合边界条件建立起了多层微悬臂梁结构......
考虑缓冲层和电极层,建立了一个多层微悬臂梁压电薄膜致动器的静态模型来评估微悬臂梁的致动器的静态性能.对此模型致动器的自由端......
目前，多层材料微悬臂梁由于其特殊的性能在MEMS系统中的应用日益广泛，当器件正常工作或者移动，甚至故障时，微悬臂梁的多层结构的应力、......
