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多粒度宏建模相关论文
基于多粒度宏建模的MEMS非标结构设计方法
随着微电子机械系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)应用的广泛化与需求的多样化,现有由参数化单元库内的结构组合的设计方......
期刊
微机电系统
多粒度宏建模
非标结构
模型降阶
Micro electro mechanical systems Multi-granularity macro-
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