多镀层微圆板相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多镀层微圆板相关论文

具有部分覆盖结构的双层微梁及微板谐振器件热弹性阻尼机理与模型

微机械谐振器是在共振频率下振动的微机电典型器件。微机械谐振器具有高精度、低延迟、大动态范围等优点。由于兼容集成电路制造工......

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微机械谐振器热弹性阻尼品质因数双层微梁局部覆盖双层微梁多镀层微圆板格林函数热弹性耦合

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