多靶相关论文
研制成功一台12 靶强流溅射离子源,安装在300kV注入器台架上为HI— 13 串列加速器,供束流强同国外多靶强流源相当,束流稳定度好于1%。......
眩晕是包括视觉、本体觉、前庭功能障碍所致的一组证候,是人的空间定位障碍所致的一种主观错觉,对自身周围的环境、自身位置的判断......
本文报道了多靶直流磁控共溅射系统的设计及性能,三个直流磁控溅射枪呈120°空间角分布于真空罩上,并聚焦于基板中心,靶的有效直径为......
由于设计的需要,利用铜靶、铁靶进行了特征X射线的产额与靶源的距离、靶源夹角关系的实验研究,当靶源距离越近、靶源夹角为70°时......
随着基因组和蛋白质组学研究发现大量药靶,高通量合成产生多种化合物库,基于微孔板的高通量筛选(HTS)术面临着严峻挑战,迫切需要发展更......
磁控溅射系统中的磁场分布对溅射过程的稳定性、离化率、靶材利用率及成膜质量都有着重要影响,合理的磁场分布可以使靶材附近的等......