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大口径基片相关论文
镀膜元件低频面形参数的有限元模拟及分析方法
利用有限元法对基片镀膜引起的变形量进行了模拟,通过数据转换将模拟结果输入Metropro 8.3.5面形处理软件,得到了低频面形参数变化......
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