大气压射频辉光放电相关论文
大气压辉光放电是一种热力学非平衡放电，其产生的等离子体温度低，并且在大气压下即可实现，因此在未来工业生产中具有广泛的应用前景。......
大气压射频辉光放电(RF APGD)等离子体具有大气压下操作不需要真空系统、气体温度低、活性粒子浓度高、放电均匀性好、可控性强等......
大气压等离子体不需要昂贵的真空设备的辅助,能够有效地降低设备投资和维护以及生产成本,并可以实现连续性生产。因此,近年来其在......
近年来低温等离子体已经在表面刻蚀、薄膜沉积、环境净化等领域得到了不同的应用，而大气压辉光放电等离子体由于不需要真空系统等优......
实验中在大气压下在射频(13.56MHz)容性耦合的平板形金属电极的构型中实现了氩/氮射频α模式的辉光放电。首先,采用发射光谱的方法......
