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大行程微变形镜相关论文
大行程MEMS微变形镜研究
近年来,在自适应光学应用领域,基于MEMS技术的变形镜相比于传统变形镜具有体积小、重量轻以及结构紧凑等优点,成为了微小型自适应光学......
学位
自适应光学
结构配置
旋转放大
大行程微变形镜
MEMS技术
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