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大面积均匀薄膜相关论文
激光沉积大面积均匀类金刚石膜的设计改进及实验
针对激光等离子体的边缘粒子对激光沉积类金刚石膜性能的不利影响,改进自转衬底一维变速平移技术的大面积均匀镀膜机构。利用开孔......
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