宏微定位相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

宏微定位相关论文

基于衍射光栅计量的宏微定位系统的研究

本文针对长行程、高精度定位系统定位速度慢、定位精度低的现状,结合国家自然科学基金项目(项目编号：50605018)“正交衍射光栅计量......

学位

衍射光栅宏/微定位 FPGA 压电陶瓷软件补偿

扫描电化学显微镜的探针驱动电路

摘要：采用一种由步进电机和压电陶瓷构成的宏微二级位置控制系统，设计了基于L298N的步进电机驱动电源和基于PA69的压电陶瓷驱动电源，......

期刊

SECM 宏微定位驱动电路扫描电化学显微镜探针步进电机压电陶瓷

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