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容性等离子体相关论文
8 MHz射频容性等离子体的功率沉积和电子密度模拟
容性等离子体(Capacitively Coupled Plasma,CPP)即E型放电等离子体,被广泛应用于半导体器件制造工艺。在容性等离子射频源中,当电......
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容性等离子体
射频源
功率沉积
电子密度
capacitive plasma
RF source
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