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宽带隙导体材料相关论文
宽带隙立方氮化硼薄膜的制备与掺杂研究
立方氮化硼(Cubic boron nitride,cBN)是具有优异物理化学性质的超硬材料和宽带隙半导体材料。它的硬度和热导率仅次于金刚石,高温......
学位
立方氮化硼薄膜
宽带隙导体材料
n型掺杂
机械性能
射频磁控溅射
化学气相沉积
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