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粒状多晶硅制备的内循环流化床反应器研究
制备粒状多晶硅的流化床工艺在能耗和效率上具有明显优势,使用内循环流化床(ICFB)可以显著减少加热壁面的硅沉积。为此对内循环流......
期刊
太阳能级多晶硅
内循环流化床
宽筛分体系
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