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半绝缘砷化镓晶体缺陷X射线透射形貌观察
本文采用扫描X射线透射形貌技术(Lang法)研究了半绝缘砷化镓中的高密度位错的结构与分布,在没有特殊工艺措施的情况下,一般LEC法生......
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砷化镓
半导体材料
晶体缺陷
密度位错
X射线形貌技术
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