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富硅-二氧化硅薄膜相关论文
富Si—SiO2薄膜的制备、结构及光致发光特性的研究
利用双离子束溅射沉积共溅射方法制备了富Si-SiO2薄膜,研究了沉积参数、时间、工作气压PAr.基片温度等对沉积速率的影响,用TEM和XR......
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