对准信号相关论文
在半导体投影光刻机中,对因工艺处理产生的非对称型相位光栅对准标记作了详细分析,提出了关于衍射效率、对准信号及对准误差的计算......
提出了一种用于光刻装置的Si片-工件台对准系统。该对准系统采用多光栅对准标记，标记的每个方向有序排列着四个子光栅。对准时，单波......
