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小孔径互连相关论文
碳纳米管小孔径互连以及相关工艺的研究
随着集成电路的飞速发展,布线密度的急剧增加,互连线将要承载高达107A/cm2的电流密度。导致铜互连线上的RC延迟增大,散热能力减弱,电迁......
学位
碳纳米管
小孔径互连
聚焦离子束
固有电阻率
接触电阻
生长机理
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