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工艺建模与仿真相关论文
纳米集成电路化学机械抛光工艺建模与仿真及可制造性设计技术研究
集成电路产业无疑是有史以来发展速度最为迅猛的产业之一。随着特征尺寸的持续不断缩小,集成电路的性能和集成度均以几何速度飞速......
学位
可制造性设计
工艺偏差
化学机械抛光工艺
工艺建模与仿真
粗糙表面
哑元金属填充
覆盖线性规划
近似算法
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