研究人员调研了上海的直径１００－１５０ｍｍ三条集成电路（ＩＣ）生产线上ＩＣ芯片的工艺诱生缺陷。研究表明这些ＩＣ生产线上存在三种主要诱生缺陷，ＩＣ与离子注入，薄膜应......

调研了三条100～150 mm集成电路生产线上IC芯片的工艺诱生缺陷.研究表明,这些IC生产线上存在三种影响IC成品率的主要诱生缺陷,离子注......

本文研究了R形转折特性的转折电压U_T和10mA时的击穿电压U_(10)与环境温度T_a的关系、击穿区的V—I特性、表面空间电荷区光电流与......