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微电子机械技术在惯性测量器件中的应用促进了微机械陀螺和微加速度计的发展。采用静电驱动力的悬浮转子式微陀螺具有低功耗,高精......
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导航、智能交通、电子罗盘、铁磁性物质检测等应用场合都需要微型化、低功耗、低成本的高灵敏度磁传感器。MEMS磁传感器具有体积小......
介绍了一种用于差分电容检测前置电路的开关电路,该电路使信号易于解调而能简化信号处理电路.阐述了电路的工作原理及相关特性,在2......
陀螺仪是惯性导航等领域中不可或缺的重要元件,广泛应用于武器、船只、飞行器等系统。基于微机电系统(Micro Electro Mechanical S......
高分辨率加速度计是重力梯度测量的核心传感器,其中石英挠性加速度计是目前重力梯度测量中主要使用的加速度计,对其噪声性能有严格......
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通过检测RC回路的充、放电时间来判断电容大小,当传感器受压电容稳定时,充、放电时间维持不变;当传感器受压电容变化时,充、放电时......
