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反射式金属光栅在高精度转台上的应用研究
以计量光栅为核心的光电位移测量技术是现代测量技术中最基础也是最先进的精密测量技术。它的应用和发展对于国民经济、国防建设和......
学位
反射式金属光栅
细分误差
干涉扫描原理
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