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平板硅外延炉相关论文
200 mm超厚层IGBT用硅外延片滑移线控制
重点探究了直径200 mm超厚层硅片滑移线的影响因素以及控制方法.使用平板硅外延炉加工超厚层外延片,并使用颗粒测试仪SP1和光学干......
期刊
高压IGBT
外延
滑移线
平板硅外延炉
凹槽深度
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