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长条形平面导轨往复平动式研磨技术研究
随着空天观测技术与航空制造业的飞速发展,对光学元件的形状要求越来越复杂,精度要求越来越高,因此人们对超精密加工设备与超精密......
学位
平面导轨
往复平动式研磨
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平面导轨气浮平台控制系统研究
气浮平台是应用于超精密加工或超精密测量中的一种运动机构,其无摩擦、高精度的运动特点使得气浮支撑运动平台在精密制造行业中占......
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平面导轨
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同步控制
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