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火焰水解法制作SiO2平面波导材料
采用火焰水解法在Si 基上淀积SiO2 / GeO2:SiO2 预制材料,然后在真空中/空气气氛中高温处理(1380 ℃)后,制得玻璃化的SiO2 / GeO2:SiO2......
期刊
火焰水解法
光波导
二氧化硅
平面波导材料
flame hydrolysis depositionoptical waveguidesilica glass
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