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并行探测技术相关论文
自检测压电微传感器灵敏度优化及并行探测技术研究
上世纪九十年代以来,锆钛酸铅(PZT)薄膜压电微悬臂梁在扫描探针显微技术中的应用,开启了压电微传感器在纳米探测领域的研究。由于PZT......
学位
PZT
LNO
灵敏度优化
并行探测技术
变形镜致动器
全光纤相位调制器
微机电系统
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