廉价硅材料相关硕士博士期刊学术论文

给出了冷等离子体对作为阴极的硅粉薄层的提纯方法及装置、提纯结果和规律。实验表明，在氮化氢气氛下，不仅可以除去９５％以上的许多过渡金......