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碳化硅晶体中异质包裹物与微管道缺陷的关系
对物理气相传输法(PVT)生长的碳化硅单晶中异质包裹物与微管道缺陷之间的关系进行了研究。首先对生长系统中的气体组分进行热力学分......
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日碳化硅
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