异质表面相关论文
针对低k介质/铜表面在平坦化加工中极易造成材料界面剥离、互连线损伤和表面不平整等问题,国内外学者对CMP过程中的材料去除机制以......
表面诱导成核是指在异相成核过程中,利用异质表面与溶质分子的相互作用来调控成核过程。表面诱导成核不仅可以降低成核能垒促进成......
