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强化刻蚀相关论文
氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态
用化学气相沉积方法制备了金刚石薄膜 .在制备过程中 ,通过间歇式关闭甲烷气体 ,强化了氢对sp2 杂化碳原子的刻蚀 .用拉曼光谱和金......
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化学气相沉积
金刚石薄膜
拉曼光谱
强化刻蚀
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