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非回转对称微结构表面超精车削轨迹生成及形状误差评价
非回转对称微结构表面在成像、照明、精密测量、激光光束整形等领域中得到了越来越广泛的应用,此类表面的超精密加工已经成为了21世......
学位
微结构表面
超精密车削
刀具轨迹生成
形状误差评价
加工仿真
连续衍射表面
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