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离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响
通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌,发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌,分析了离子溅射膜的形......
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纳米材料
离子溅射
镀膜
形貌改变
nanometer materials
ion sputtering
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deformation
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