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往复式金刚石线锯相关论文
金刚石线锯切割半导体陶瓷的机理与工艺研究
随着半导体工业的飞速发展,单晶硅、砷化镓和碳化硅等半导体陶瓷材料在此领域得到广泛应用。现代微处理器和其他逻辑芯片的制备要......
学位
固结磨料
往复式金刚石线锯
单晶硅
砷化镓
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损伤层
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