微光学电子机械系统相关论文
本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。......
A novel structure design of micro optic electro mechanical system(MOEMS)gyroscope is presented in this paper.The structu......
综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要......